黑色金属底座作为光学精密零件,采用航空级铝合金经硬质阳极氧化发黑处理制成。整体呈方形平板结构,中央集成高精度圆形定位腔,四周分布标准化安装孔位。它专为光学设备(如显微镜载物台基座、激光干涉仪支撑座、光谱仪底板 )设计,通过精准的几何公差控制与低应力加工工艺,为光学系统提供超稳定的物理支撑平台,可有效抑制外界震动、温差导致的形变,保障光学元件装配精度与光路传输稳定性,是高端光学仪器核心基础部件 。
产品特点
(一)超精密几何精度
采用五轴联动加工中心铣削,平面度误差<0.005mm ,定位腔同轴度公差 ±0.003mm ,安装孔位置度误差<0.01mm ,确保光学元件装配后光路准直精度,满足纳米级光学检测、光刻设备需求 。
(二)高稳定性材质
航空级铝合金经 T6 热处理,抗拉强度达 310MPa ,弹性模量 70GPa ,配合硬质阳极氧化层(厚度 15 - 20μm ),具备优异的抗变形、抗腐蚀性能;无磁特性避免干扰光学系统磁场环境,保障磁光调制、电子束曝光等设备正常运行 。
(三)低应力设计
通过有限元分析优化结构,底座厚度梯度与筋板布局合理,加工过程中采用振动时效消除残余应力(残余应力<50MPa ),设备运行时热变形量<0.002mm/℃,适配高低温光学实验环境 。
特点 | 参数指标 |
加工精度 | 平面度<0.005mm ,同轴度 ±0.003mm |
材质性能 | 抗拉强度 310MPa ,弹性模量 70GPa ,无磁 |
应力控制 | 残余应力<50MPa ,热变形<0.002mm/℃ |
产品详情
生产环节,选用 6061 - T6 铝合金棒材,经锯切、粗铣、应力消除、精铣、阳极氧化等 12 道工序,每一步均采用激光干涉仪检测平面度,三坐标测量仪校准孔位精度。
成品应用于半导体光刻设备,承载物镜系统实现纳米级图形转移;搭配激光跟踪仪,作为基准座保障空间坐标测量精度;在天文望远镜中,稳定支撑次级镜组,消除热胀冷缩导致的光路偏移。从晶圆制造到深空探测,以超精密精度、高稳定性、低应力特性,成为光学精密设备的 “隐形基石”,让每一束光线的路径都精准可控 。